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高溫氣體、液體質(zhì)量流量控制器MFC及流量計： -- 可快速精確測量過程氣體/液體/蒸汽的體積流量/質(zhì)量流量； -- 采用定制的高速比例控制閥對介質(zhì)體積流量/質(zhì)量流量進行精確控制 -- 測量液體時，帶有排氣孔可輕松排出空氣 -- 集成多功能數(shù)字顯示屏，通過屏幕按鈕便可控制設定值及PID閥門調(diào)節(jié)，開放模擬輸入輸出和RS-485數(shù)字通訊 -- 內(nèi)部無可移動組件和熱元件，通過抗振動測試，對安裝方向不敏感。

沉積設備用高溫分體氣體流量控制器及流量計，采用定制的高速比例控制閥，可快速精確測量高溫氣體的質(zhì)量流量，可以以質(zhì)量單位或體積單位顯示流量值，精度0.5%FS。

熱式高溫分體氣體質(zhì)量流量控制器及流量計，采用定制的高速比例控制閥，可快速精確測量高溫氣體的質(zhì)量流量，可以以質(zhì)量單位或體積單位顯示流量值，精度0.5%FS。