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負(fù)壓或真空腔室用的氣體質(zhì)量流量計(jì)及MFC

簡(jiǎn)要描述:負(fù)壓或真空腔室用的氣體質(zhì)量流量計(jì)及MFC:
◆精度更高,響應(yīng)更快,帶網(wǎng)口;
◆管狀分流,不易堵塞;
◆適用于各種低壓和高壓管道,以及抽真空的環(huán)境;
◆預(yù)熱時(shí)間短,零漂小,可靠性高;
◆模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量;
◆數(shù)字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協(xié)議可選;

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-10-31
  • 訪  問(wèn)  量:651

詳細(xì)介紹

一、負(fù)壓或真空腔室用的氣體質(zhì)量流量計(jì)及MFC 產(chǎn)品概述:

1、精度更高,響應(yīng)更快,帶網(wǎng)口;

2、管狀分流,不易堵塞;

3、適用于各種低壓和高壓管道以及抽真空的環(huán)境;

4、預(yù)熱時(shí)間短,零漂小,可靠性高;

5、模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量;

6、數(shù)字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協(xié)議可選;


二、產(chǎn)品應(yīng)用:

真空鍍膜 / 太陽(yáng)能、氫能等新能源 / 半導(dǎo)體 / 石油石化精細(xì)化工 / 電力冶金

環(huán)保 / 食品包裝 / 生物醫(yī)藥 / 新材料 / 工業(yè)制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統(tǒng)


三、負(fù)壓或真空腔室用的氣體質(zhì)量流量計(jì)及MFC 產(chǎn)品參數(shù):

滿(mǎn)量程范圍:2SCCM~300SLM

準(zhǔn) 確  度:±0.5%F.S

線(xiàn)       性:±0.5%F.S

重復(fù)精度:±0.2%F.S

響應(yīng)時(shí)間:流量計(jì):<0.1s; 流量控制器:<0.2s

數(shù) 字  量:RS232/485,MODBUS協(xié)議

模 擬  量:0~5V、4-20mA、1~5V

供       電:±15VDC,24VDC

工作溫度:0~50℃

工作壓降:<0.01Mpa(流量計(jì))

工作壓差:0.1~0.5Mpa (流量控制器)

耐       壓:3MPa/10MPa

漏       率:1×10-9SCCSHe

溫度系數(shù):±0.025%F.S/℃

底座材質(zhì):不銹鋼

密封材質(zhì):氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠,聚四氟乙烯,全氟醚FFKM/FFPM等

接       頭:φ3,φ6,1/8",1/4",3/8",1/2"… …卡套、法蘭、快插、寶塔等。。。

如果所需性能要求與上述性能不同,可以溝通定制。






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